如何使用激光共聚焦顯微鏡測量分析鋼體材料樣品表面缺陷？

　　比如通過測量鋼體材料作為樣品,使用肉眼可以自己看到表面有一些細(xì)微的小黑點,假使我們應(yīng)該采用金相顯微鏡觀察,即使放大到最大的倍數(shù),只能觀察到有黑色區(qū)域,很難去區(qū)分黑點的形態(tài)。我們主要采用激光掃描共聚焦顯微鏡對此處缺陷問題進(jìn)行數(shù)據(jù)測量方法觀察。首先采用傳統(tǒng)普通光源觀察黑色小點,將黑色小點移動至觀察生活區(qū)域,再將光源轉(zhuǎn)換到激光部分,利用激光對缺陷導(dǎo)致部分內(nèi)容進(jìn)行深度方向的逐層掃描,得到控制缺陷處的三維形貌特征信息。結(jié)果也是顯而易見。很明顯黑色斑點是由一些小坑構(gòu)成的。在經(jīng)過坑的部位畫一條測量線,如測量工作結(jié)果統(tǒng)計報告圖所示，測量線的高度相關(guān)信息如圖所示坑的沿著測量線方向的最大寬度、最大經(jīng)濟(jì)深度等信息管理一目了然。當(dāng)然同時還可以對社會其他有需要的缺陷處的多處尺寸分別代表進(jìn)行教育測量。分析模型可知對于這些黑色的小斑點應(yīng)該是鋼材生產(chǎn)加工處理過程中有異物壓入或者腐蝕留下的痕跡。
　　在缺陷分析過程中，激光共焦顯微鏡充分發(fā)揮了其在三維形貌測量中的優(yōu)勢。當(dāng)普通光學(xué)顯微鏡無法分辨高度方向的信息時，它填補了這一空白，對其微觀形貌進(jìn)行三維分析，獲得整個觀察區(qū)域的三維坐標(biāo)，對金屬材料表面黑色缺陷的來源分析起到關(guān)鍵作用。激光掃描共焦顯微鏡技術(shù)已經(jīng)發(fā)展得比較成熟，并在很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。在金屬材料的顯微觀察中，激光掃描共聚焦顯微鏡有很多優(yōu)點。它在分辨率和清晰度方面優(yōu)于普通光學(xué)顯微鏡。對樣品和測試環(huán)境要求低，操作方便快捷，無損檢測；可以掃描空間的三維形貌，直觀顯示被觀察物體的三維形貌；可以測量體積、面積、顆粒、薄膜厚度、深度、長度和寬度、線粗糙度、表面粗糙度等表面形貌信息。因此，激光掃描共聚焦顯微鏡在金屬材料的研究和開發(fā)中，尤其是在微觀組織和形貌的觀察中，具有非常廣闊的應(yīng)用前景。