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首頁-產(chǎn)品中心-表面表征 > 奧林巴斯工業(yè)顯微鏡 > 半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡 > MX63/MX63L半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：MX63 和MX63L 顯微鏡系統(tǒng)支持檢測(cè)尺寸達(dá)300 毫米的晶圓、平板顯示器、印刷電路板以及其他樣品的質(zhì)量。
更新時(shí)間：2019-03-05瀏覽次數(shù)：2683產(chǎn)品分類
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ARTICLES詳細(xì)介紹
滿足電子行業(yè)需求
功能性
為滿足電子行業(yè)的人體工學(xué)和安全性要求而設(shè)計(jì)的附加功能以增強(qiáng)分析能力
人性化
簡(jiǎn)潔的顯微鏡設(shè)置使用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置變得更為輕松。
的成像技術(shù)
我們成熟可靠的光學(xué)器件和優(yōu)良的成像技術(shù)可獲得清晰圖像，并完成可靠檢測(cè)。
模塊化
用戶可通過選擇適合其應(yīng)用的模塊進(jìn)行系統(tǒng)定制。
的分析工具
MX63系列的各種觀察功能可生成清晰的圖像，讓用戶能夠?qū)悠愤M(jìn)行可靠的缺陷檢測(cè)。全新
照明技術(shù)以及奧林巴斯Stream圖像分析軟件的圖像采集選項(xiàng)為用戶評(píng)估樣品和存檔檢測(cè)結(jié)
果提供更多選擇。
從不可見到可見：MIX觀察與采集
通過暗場(chǎng)與明場(chǎng)、熒光或偏光等其他觀察方法結(jié)合使用，MIX觀察技術(shù)能夠獲得特殊的觀察圖像。MIX觀察技術(shù)可讓用戶發(fā)現(xiàn)用傳統(tǒng)顯微鏡難以觀察的缺陷。暗場(chǎng)觀察所用的環(huán)形LED照明器具有可四象限分段照明的定向暗場(chǎng)功能。該功能可減少樣品光暈，有助于觀察樣品的表面紋理。
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輕松生成全景圖像:即時(shí)MIA 利用多圖像拼接(MIA)功能, 用戶移動(dòng)手動(dòng)載物臺(tái)上的XY旋鈕即可輕松快速地完成圖像拼接—電動(dòng)載物臺(tái)無需該操作。奧林巴斯Stream軟件利用圖案識(shí)別生成全景圖像，讓用戶獲得更寬的視場(chǎng)。
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生成全聚焦圖像:EFI 奧林巴斯Stream軟件的擴(kuò)展聚焦成像(EFI) 功能可采集高度超出景深范圍的樣品圖像。EFI將這些圖像堆疊在一起生成單幅全聚焦樣品圖像。EFI配合手動(dòng)或電動(dòng)Z軸載物臺(tái)使用，可輕松生成結(jié)構(gòu)可視化的高度圖像。EFI圖像可在奧林巴斯Stream桌面軟件內(nèi)離線生成。
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利用HDR采集明亮區(qū)域和暗光區(qū)域 利用的圖像處理技術(shù)，高動(dòng)態(tài)范圍(HDR)可在圖像內(nèi)調(diào)整亮度差異，以減少眩光。HDR改善了數(shù)字圖像的視覺品質(zhì)，從而有助于生
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從基本測(cè)量到高級(jí)分析
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要。基于這一想法，即便入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成?？纱蠓瓤s減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測(cè)工作上。
高效的報(bào)告創(chuàng)建
創(chuàng)建報(bào)告所用的時(shí)間常常比采集圖像和測(cè)量還長(zhǎng)。奧林巴斯Stream軟件提供了直觀的報(bào)告創(chuàng)建功能，能夠根據(jù)預(yù)先設(shè)定的模板多次創(chuàng)建專業(yè)復(fù)雜的報(bào)告。編輯非常簡(jiǎn)單，報(bào)告可導(dǎo)出為MicrosoftWord或PowerPoint文件。此外，奧林巴斯Stream報(bào)告功能能夠?qū)Σ杉膱D像進(jìn)行數(shù)碼變焦和倍率放大。報(bào)告文件大小適中，通過電子郵件進(jìn)行數(shù)據(jù)傳遞更加方便。
獨(dú)立相機(jī)選項(xiàng)
測(cè)量對(duì)于品質(zhì)、工藝控制和檢測(cè)非常重要?；谶@一想法，即便入門級(jí)奧林巴斯Stream軟件包也包括交互測(cè)量功能的全部菜單，并且所有測(cè)量結(jié)果與圖像文件一起保存以便日后調(diào)用文檔。此外，奧林巴斯Stream材料解決方案可為復(fù)雜圖像分析提供直觀的工作流界面。點(diǎn)擊按鈕，圖像分析任務(wù)即可快速精準(zhǔn)完成。可大幅度縮減重復(fù)性任務(wù)的處理時(shí)間，使操作人員的精力集中在檢測(cè)工作上。使用DP22或DP27顯微鏡相機(jī)的MX63系列是一套的獨(dú)立系統(tǒng)。該相機(jī)采用幾乎不占空間的緊湊型控制盒控制，在采集清晰圖像以及進(jìn)行基本測(cè)量工作的同時(shí)讓實(shí)驗(yàn)室空間得到充分利用。
直觀的顯微鏡控制：舒適且使用方便
顯微鏡設(shè)置操作簡(jiǎn)單，讓用戶調(diào)整和再調(diào)用系統(tǒng)配置更加輕松。
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快速尋找焦點(diǎn)：聚焦輔助 在光程內(nèi)插入聚焦輔助可以輕松無誤地實(shí)現(xiàn)諸如裸晶片之類低對(duì)比度樣品的對(duì)焦。在焦平面上的網(wǎng)格對(duì)焦讓您的樣品對(duì)焦更加簡(jiǎn)單。
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利用光強(qiáng)管理器和自動(dòng)孔徑控制實(shí)現(xiàn)快速觀察 對(duì)于常規(guī)顯微鏡，使用者每次觀察都需要調(diào)整光強(qiáng)度和孔徑。MX63系列讓使用者能夠針對(duì)不同的倍率和觀察方法設(shè)定光強(qiáng)和孔徑條件。這些能夠輕松調(diào)用的設(shè)置即可幫助使用者節(jié)省時(shí)間又可獲得優(yōu)良的圖像質(zhì)量。
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人體工學(xué)設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)更快、更舒適的操作 更換物鏡以及調(diào)整孔徑光闌的控制器位于顯微鏡前面較低的位置，因此使用者在使用過程中無須松開對(duì)焦旋鈕或?qū)㈩^從目鏡上移開。
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為質(zhì)量檢驗(yàn)提供精細(xì)的光學(xué)性能和數(shù)碼成像技術(shù)
奧林巴斯研發(fā)高質(zhì)量光學(xué)器件和數(shù)碼成像技術(shù)的悠久歷史成就了具有卓越測(cè)量精度的
一系列可靠光學(xué)器件和顯微鏡。
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卓越的光學(xué)性能： 物鏡鏡頭的光學(xué)性能對(duì)于觀察圖像品質(zhì)和分析結(jié)論有著直接的影響。奧林巴斯UIS2高倍率物鏡可限度減小波陣面像差，從而獲得可靠的光學(xué)性能。
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始終一致的色溫： MX63系列采用高強(qiáng)度白色LED光源進(jìn)行反射和透射照明。無論光強(qiáng)度如何，LED光源均可保持始終如一的色溫，從而實(shí)現(xiàn)可靠的圖像質(zhì)量和色彩復(fù)現(xiàn)。LED系統(tǒng)可提供非常適合材料科學(xué)應(yīng)用的高效率、長(zhǎng)壽命照明。
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測(cè)量：自動(dòng)校準(zhǔn) 與數(shù)碼顯微鏡類似，當(dāng)使用奧林巴斯Stream軟件時(shí)可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)校準(zhǔn)。自動(dòng)校準(zhǔn)有助于消除校準(zhǔn)過程中的人為偏差，保證了更可靠的測(cè)量。自動(dòng)校準(zhǔn)采用的算法可根據(jù)多個(gè)測(cè)量點(diǎn)均值自動(dòng)
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完全清晰的圖像： 奧林巴斯Stream軟件具有解決圖像角落周邊陰影問題的陰影校正功能。在配合強(qiáng)度閾值設(shè)置使用時(shí)，陰影校正可實(shí)現(xiàn)更加的分析。
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