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日立IM4000Plus離子研磨儀利用氬離子對樣品即可以進(jìn)行平面研磨，也可以進(jìn)行截面切割，是對樣品進(jìn)行無應(yīng)力加工的理想工具。
MC1000離子濺射儀是由日立高新技術(shù)公司自行設(shè)計制造，針對掃描電鏡的精細(xì)高端需求而設(shè)計，適合微觀結(jié)構(gòu)較復(fù)雜的樣品，尤其適合于場發(fā)射掃描電鏡的高倍率觀測應(yīng)用。
IXRF磁控離子濺射儀MSP-2S/MSP-Mini利用磁控電極在低電壓下對樣品濺射金屬靶材，為SEM樣品表面噴鍍金屬鍍層，方便電鏡觀察。
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