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加熱平板與晶圓夾盤系列

產(chǎn)品簡介：Instec加熱平板允許同時(shí)進(jìn)行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔，視型號不同有或沒有上蓋。

  • 更新時(shí)間：2019-03-07
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詳細(xì)介紹

Instec加熱平板允許同時(shí)進(jìn)行樣品的溫控和反射光觀察。相比冷熱臺減少了下透光孔，視型號不同有或沒有上蓋。

本品適用于反射式顯微鏡、顯示面板測試、半導(dǎo)體檢測、原子力顯微鏡等應(yīng)用。

Instec溫控晶圓夾盤專用于樣品電測試。相比加熱平板則多了用于固定樣品的真空吸附槽。

本品適用于樣品電測試，整體高度很小，可集成進(jìn)探針臺使用。

冷熱平板TP104SC，樣品區(qū)100x100mm半導(dǎo)體控溫，增加氣密上蓋

一個典型的圓形溫控晶圓夾盤

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